2025-12-24
近期,信息科学与技术学院课程“微电子器件”(EE2211)在上海科技大学材料器件中心成功开展实践教学活动。本次活动依托材料器件中心这一集公共科研服务、教学实践与技术研发于一体的先进平台,为课程学生提供了深入了解微纳制造全流程的宝贵机会,有效促进了课程理论与产业实践的深度融合。图 | 材料器件中心工程师为同学们讲解光刻技术本次实践以“探索微纳制造前沿”为主题,中心技术团队首先向学生们系统介绍了平台的发展历程与硬件设施。在微光长廊参观环节,工程师详细讲解了镀膜沉积、光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、量测表征等各工艺步骤的仪器设备,深入剖析了设备的工作原理、技术指标和工艺特色,并结合实际应用场景阐述了其在材料生长与器件制备中的关键作用。工程师重点介绍了位于光刻区的ASML步进式光刻机。该设备通过深紫外光将掩膜版图形4倍缩小后复制到样品上,极限线宽可达150纳米。图| 材料器件中心工程师在洁净间里向同学们介绍设备功能和使用在材料器件中心工程师的指导下,学生们严格按照规范穿戴防护装备进入洁净间,依次参观了光刻区、镀膜区、刻蚀区、清洗区、后道区和量测区。通过近距离观摩原子力显微镜、电子束蒸发系统、磁控溅射