• 2025-12-31
    辞旧迎新的喜庆氛围渐浓之际,上海科技大学材料器件中心于今天中午在丝路餐厅二楼成功举办“饺香迎新岁,研途暖同行”主题元旦饺子宴,为中心全体师生送上新年的暖心问候与美好期许。中午11时30分,活动正式启幕。活动现场年味氤氲,醒目的“新年快乐”横幅高悬,喜庆欢乐的装饰点缀其间,瞬间拉满节日氛围。同学们有序列队取餐,滚烫的饺子搭配风味蘸料,一口下肚暖意融融,让学生在寒冬中真切感受到家的温情。餐厅内笑语盈盈,师生围坐畅谈,时而交流科研心得,时而分享新年规划,温馨氛围萦绕全场。除热气腾腾的饺子外,中心还为同学们精心准备了伴手礼,而此次伴手礼的选择颇具巧思,橙子、泡芙可乐的组合寓意深远。金黄饱满的橙子,谐音“诚”与“成”,既寄寓中心师生新岁心想事成、诚心顺遂的美好愿景,更象征科研之路蒸蒸日上、硕果盈枝;外酥内软的泡芙甜蜜醇厚,圆润形态承载团圆美满之意,“芙”与“福”的谐音更暗藏祝福,愿师生们新年福气常伴、生活甜蜜。可口可乐则是希望同学们在新的一年可可爱爱、开开心心。小巧的伴手礼,在细节之处尽显中心对同学们的深切关怀,浓缩着中心对全体师生最真挚的新春祝福。此次饺子宴不仅是一场味觉盛宴,更是中心凝聚学子
  • 2025-12-28
    近期,上海科技大学材料器件中心(SMDL)教学实训线首个企业培训项目正式开班,来自联光元和(上海)企业有限公司的21名工程师参加了首期培训。这是材料器件中心首次面向企业用户推出的定制化实训项目,更是中心紧密对接产业需求、拓展社会服务功能的深度实践探索。开班仪式上,中心相关负责人详细介绍了课程体系及教学目标。不同于传统通用型培训,本次实训项目是材料器件中心聚焦企业技术痛点与人才梯队建设核心需求,为其量身打造的深度定制化方案。项目共设置16个培训课程,涵盖从基础规范到前沿工艺的各个维度。课程设计既注重实操细节的精准把控,也强调系统化思维的培养,确保每个培训模块都与企业实际研发方向高度契合,真正实现“训以致用”。首期课程从用户综合培训开启。值得关注的是,本次培训特别强调了理论与实践的融合效应。通过现场教学,结合中心编著出版的专业实践教材《集成电路先进工艺制造》,学员们能够在短时间内建立起对集成电路先进工艺制造领域的全景式认识。这种“教材+实训”的模式,不仅帮助学员理解复杂的工艺细节,更旨在通过体系化的知识输入,赋予工程师后续自主学习与独立解决工艺难题的能力,实现从技术操作者向技术攻坚
  • 2025-12-26
    近日,材料器件中心2025年度总结大会召开,中心全体教职工参加会议,共同回顾年度工作、梳理发展成效、谋划后续安排。会议全面回顾了中心2025年的工作情况与成效:平台建设稳步推进,连续三年获评校级“优秀平台”,核心支撑作用持续发挥;服务效能稳步提升,机时收入实现双增长,年技术代工服务量首次超过设备共享,用户致谢论文近百篇,技术服务影响力逐步扩大;人才培育工作扎实开展,年培训企事业用户近5000人次,产学研协同育人成效逐步显现;专硕培养体系更加完善,实训课程与实践教材建设取得进展,校企联合培养合作单位扩展至5家行业单位,在读专硕87人,培养质量获得产业界认可,首届拟毕业学生实现100%就业;队伍建设与内部治理协同推进,设备自主维护维修能力持续提升,制度体系与文化建设不断完善,为中心高质量发展奠定了基础。基于中心定位和年度工作成效,会议围绕“十五五”发展目标,明确了下一阶段的重点任务与实施路径,凝聚了工作共识。会上,中心全体教职工依次结合岗位职责,总结2025年工作成果、规划来年工作安排,展现出务实的工作作风。此次大会的召开,不仅全面总结了年度工作、凝聚了发展合力,更吹响了新一年奋进的号角。
  • 2025-12-24
    近期,信息科学与技术学院课程“微电子器件”(EE2211)在上海科技大学材料器件中心成功开展实践教学活动。本次活动依托材料器件中心这一集公共科研服务、教学实践与技术研发于一体的先进平台,为课程学生提供了深入了解微纳制造全流程的宝贵机会,有效促进了课程理论与产业实践的深度融合。图 | 材料器件中心工程师为同学们讲解光刻技术本次实践以“探索微纳制造前沿”为主题,中心技术团队首先向学生们系统介绍了平台的发展历程与硬件设施。在微光长廊参观环节,工程师详细讲解了镀膜沉积、光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、量测表征等各工艺步骤的仪器设备,深入剖析了设备的工作原理、技术指标和工艺特色,并结合实际应用场景阐述了其在材料生长与器件制备中的关键作用。工程师重点介绍了位于光刻区的ASML步进式光刻机。该设备通过深紫外光将掩膜版图形4倍缩小后复制到样品上,极限线宽可达150纳米。图| 材料器件中心工程师在洁净间里向同学们介绍设备功能和使用在材料器件中心工程师的指导下,学生们严格按照规范穿戴防护装备进入洁净间,依次参观了光刻区、镀膜区、刻蚀区、清洗区、后道区和量测区。通过近距离观摩原子力显微镜、电子束蒸发系统、磁控溅射
  • 2025-12-22
    2025年12月19日上午,上海交通大学与张江实验室合作开设的《超大规模集成电路先进光刻技术发展概论》课程的20多名研究生一年级学生,在上海交通大学文惠敏老师和张江实验室研究生部常树奇与孙明珠3位老师的带领下,来到上海科技大学材料器件中心(SMDL),开展线下实践课程学习。本次实践学习作为该联合开设课程的重要组成部分,旨在通过实地参访和现场教学,帮助学生将理论知识与实践相结合。上海交通大学研一学生到访材料器件中心在中心工程师的引导下,学生们实地参观了SMDL微光展廊。庄晓老师系统介绍了材料器件中心的平台概况、设备资源与服务能力,并着重讲解了光刻机的分类、技术原理及发展历程。她对中心在国内高校中独有的DUV(深紫外)光刻机进行了深入浅出地介绍,令同学们对先进光刻技术有了直观认识。中心工程师讲解光刻设备学生们通过观看展廊的实物芯片展示和教学模型视频,结合中心工程师的详细讲解,对微纳加工平台的整体运作和光刻工艺流程有了更全面的认识。这种以展廊为课堂、理论与实践紧密结合的教学方式,有效增进了学生们对光刻技术的理解。中心工程师介绍黄光区实验室光刻设备近年来,中心积极拓展教学育人功能,为高校、科研
  • 2025-11-17
    上海集成电路紧缺人才培训项目第三十四期集成光电子芯片专题合作专班,是在上海市经济和信息化委员会、上海市教育委员会指导下,由上海微电子产业学院、上海市集成电路行业协会和上海科技大学材料器件中心(SMDL)等单位共同承办的专项人才培养计划。该专班聚焦集成光电子芯片方向,涵盖光电子芯片的设计、制造、封测等全流程内容。2025年11月15日,通过材料审核与线上课程考试后的20余名学员走进上海科技大学材料器件中心(SMDL),开展线下实践学习,实现从理论到现场的沉浸式体验。学员们首先听取了中心整体的介绍,随后在工程师团队带领下参观了SMDL“微光走廊”主题展厅。通过实物展品的直观展示,大家对芯片设计与制造流程有了更深入的理解。之后,学员们穿戴洁净服,经风淋通道进入SMDL超净实验室,近距离观摩电子束光刻、离子刻蚀等高端微纳加工与测试设备。工程师现场讲解了这些设备在微纳器件制备中的具体应用和技术要点,并演示关键操作流程。此次专项班实践是SMDL在集成电路人才培养方面的一次积极探索。未来,中心将继续推进此类合作专项班建设,为更多集成电路学员和准从业者提供更多零距离接触前沿芯片工艺的实践平台。
  • 2025-11-14
    2025年11月14日上午,湖北省孝感市委副书记、市长林中麟率领孝感市委、市政府有关领导及科技企业代表一行12人,到访我中心,实地调研了中心在微纳制造领域的平台建设与产学研合作情况,并对中心的微纳制造平台硬件设施、工艺技术能力及集成电路工艺制造专项班等实践成果表示赞赏。
  • 2025-11-10
    2025年11月7日,上海市教育委员会财务和国有资产管理处副处长蒋洁旻一行莅临上海科技大学,指导调研学校大型科研仪器管理和使用工作。期间,调研组实地参观了材料器件中心,详细了解了中心的微纳制造平台硬件设施、工艺技术能力及集成电路工艺制造专项班等情况,对中心聚焦新一代芯片研发、推动产教融合育人的实践成果表示肯定。
  • 2025-11-06
    为响应国家及上海市集成电路产业高质量发展的战略需求,聚焦实践教学提质与技能培养核心目标,材料器件中心精力打造的“微纳工艺设备线上教学视频集”近日在官网上线。该视频集以“不受场地限制、随时观看”为核心优势,覆盖实验课程学生、校内外用户、学员等多元受众,既为学生筑牢科研与就业之基,也为各类学习者搭建高效的技能提升桥梁,是中心“支撑教学科研、服务产业”定位的又一创新实践。作为多学科交叉研究的公共科研平台,材料器件中心服务于学校“双一流”建设、材料科学与工程“双一流”学科建设。中心长期承担集成电路先进工艺制造专项班及实践实验教学任务,重视“实践标准化”与“资源可及性”对人才培养的关键作用。此次推出的视频集精准匹配教学与学习需求:内容上,紧密结合专项班培养方案与25台核心设备操作规范,系统覆盖薄膜沉积、光刻、刻蚀、量测等核心工艺技术;形式上,25个专题视频每集控制在10分钟内,从原理铺垫、实操规范到维护要点全维度拆解,既适配实验课程节奏,也满足了碎片化学习的高效需求。线上视频集截图步进式光刻机教学视频截图步进式光刻机教学视频截图视频集更精准破解了传统线下实践教学的核心痛点。对课程学员而言,它有效
  • 2025-11-05
    10月28日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年研究员王成立博士应邀到访我中心,开展了一场关于瑞士洛桑联邦理工学院微纳制造中心(EPFL-CMi)运营与管理经验的精彩专题报告。王成立博士曾在EPFL进行联合培养博士后研究,主要从事异质集成光电子材料与器件研究,以第一作者或共同第一作者身份在《Nature》正刊发表学术论文2篇,其团队研究成果于2024年入选“中国半导体十大进展”。报告中,王成立博士详细介绍了EPFL-CMi的平台运作机制、组织架构设计精髓及高效管理策略。中心十余位教职工参加交流,围绕平台管理模式、服务优化等核心议题,与王博士进行了深入的交流探讨。此次报告为中心后续优化运营管理策略、提升平台服务效能与综合实力提供了有益参考。