2025年12月19日上午，上海交通大学与张江实验室联合开设的《超大规模集成电路先进光刻技术》课程的20多名博士研究生一年级学生，在上海交通大学课程负责人和张江实验室研究生管理办公室相关负责人的带领下，来到上海科技大学材料器件中心（SMDL），开展线下实践课程学习。本次实践学习作为该联合开设课程的重要组成部分，旨在通过实地参访和现场教学，帮助学生将理论知识与实践相结合。
学生到访材料器件中心
在中心讲解老师的专业引导下，学生们实地参观了SMDL微光展廊。中心讲解老师系统介绍了材料器件中心的平台概况、设备资源与服务能力，并重点讲解了光刻机的分类、技术原理及发展历程。
中心工程师讲解光刻设备
学生们透过玻璃窗参观超净室内光刻机实验“真”场景，在展廊内观看步进式光刻机教学仿真操作模型以及数十枚实物芯片展品，同步聆听着中心工程师深入浅出的专业讲解，对微纳加工平台的整体运行及光刻工艺流程形成了系统认知。这种以展廊为教学场所、将理论知识与实践演示有机融合的教学模式，显著提升了学生对光刻技术的理解和掌握程度。
中心工程师介绍黄光区实验室光刻设备
近年来，中心持续深化教学育人内涵，积极拓展服务边界，为高校、科研院所及企业输送了大量优质人才资源，已成为我校微纳技术科普教育、实践训练与学术交流的重要平台。本次实践教学是材料器件中心助力高校人才培养的又一生动注脚。通过沉浸式参访体验、现场讲解与互动研讨，学生们得以将抽象的理论知识与鲜活的微纳制造实践深度融合，深化了对光刻技术全流程的认知，为培养集成电路领域的高素质专业人才提供了有力支持。
学生与老师们在中心留影
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