序号

耗材名称

型号规格

2026年收费标准（元）

计价单位

1

贵重金属1

Au(5N，直径3*3mm)

30

元/nm

2

贵重金属2

GeAu(5N，直径3*3mm
   Ge：Au=12：88%)

30

元/nm

3

贵重金属3

Pt/Pd(4N,3*3mm)

20

元/nm

4

蒸镀溅射材料

Ti、Ni、Cr、Al、Cu、B、Ta（5N，3*3mm)

2

元/nm

5

金属

In（7N，1-6mm）

35

元/um

6

硅片

4寸标准单抛片,   <100>N型，低阻

150

元/片

7

硅片

6寸标准单抛片，<100>N型，低阻

250

元/片

8

硅片

8寸标准单抛片,   <100>N型，低阻

450

元/片

9

EBL光刻胶

ZEP520A

500

元/ML

10

EBL光刻胶

495K   PMMA A2

40

元/ML

11

EBL光刻胶

950K   PMMA A2

40

元/ML

12

EBL光刻胶

495K   PMMA A4

40

元/ML

13

EBL光刻胶

950K   PMMA A4

40

元/ML

14

EBL光刻胶

MMA(8.5)MAA   EL9

40

元/ML

15

EBL光刻胶

MMA(8.5)MAA   EL9

40

元/ML

16

EBL导电胶

Discharge   H2O

200

元/ML

17

打线机金线

25um直径

10

元/cm

18

液氮

10

元/L

19

滴管

1ml、2ml、5ml

1

元/只

20

UV膜

厚度0.125mm   300mm*150mm

50

元/片

21

UV膜

厚度0.95mm  300mm*300mm

50

元/片

22

刀片

vt07系列   

1

元/um

23

刀片

R07系列

0.5

元/um

24

刀片

仅更换刀片

50

元/次

25

刀片

更换刀架和刀片

100

元/次

26

磨轮

更换磨轮

500

元/次

27

AFM探针

SCANASYST-AIR

300

元/次

28

AFM探针

RTESPA-300

350

元/次

29

AFM探针

SCM-PIT-V2

400

元/次

30

抛光液

次氯酸钠

1.5

元/ml

31

抛光布

LCON-PC352

900

元/片

32

载硅（AlN使用）

小样、4寸或6寸晶圆转8寸

1000

元/um