材料器件中心特殊耗材收费标准


序号

耗材名称

型号

收费标准(元)

/单位

备注

1

硅片

4寸标准单抛片, <100>N型,低阻

150

/

 

2

硅片

6寸标准单抛片,<100>N型,低阻

250

/

 

3

硅片

8寸标准单抛片, <100>N型,低阻

450

/

 

4

EBL光刻胶

ZEP520A

500

/ML

 

5

EBL光刻胶

495K PMMA A2

40

/ML

 

6

EBL光刻胶

950K PMMA A2

40

/ML

 

7

EBL光刻胶

495K PMMA A4

40

/ML

 

8

EBL光刻胶

950K PMMA A4

40

/ML

 

9

EBL光刻胶

MMA(8.5)MAA EL9

40

/ML

 

10

EBL光刻胶

MMA(8.5)MAA EL9

40

/ML

 

11

EBL导电胶

Discharge H2O

200

/ML

 

12

打线机金线

25um直径

10

/cm

 

13

液氮

 

10

/L

 

14

滴管

1ml2ml5ml

1

/

 

15

双氧水

AR(沪试),≥30.0%

1

/10ML

 

 

 

常规试剂耗材,如单次使用量小于500ml,不单独计费

16

硫酸

AR(沪试),95.098.0%

1

/10ML

17

硝酸

AR(沪试),65.068.0%

1

/10ML

18

氢溴酸

AR(沪试),≥40.0%

2

/10ML

19

AR分析纯

1

/g

20

盐酸

AR(沪试),36.038.0%

1

/10ML

21

HF

GR优级纯

1

/10ML

21

氟化铵

CMOS

1

/10g

22

贵重金属

AuPtGe/Au

15

/nm

  


中心可提供的常规试剂耗材

序号

耗材名称

型号

序号

耗材名称

型号

1

EBL显影液(邻二甲苯)

O-Xylene

15

无水乙醇

AR(沪试),≥99.7%

2

EBL显影液(MIBK

MIBK

16

异丙醇

CMOS

3

EBL光刻胶稀释液(thinner

ZEP-A

17

乙二醇

AR

4

增粘剂

HMDS

18

丙酮

AR

5

增粘剂

SURPASS4000

19

乙醚

AR

6

光刻胶

SPR3612

20

三氯乙烯

AR

7

光刻胶

SPR 220-3

21

氨水

AR(沪试),2528%

8

光刻胶

SPR 220-7

22

双氧水

AR(沪试),≥30.0%

9

光刻胶

AZ5214-E

23

硫酸

AR(沪试),95.098.0%

10

光刻胶

S1805

24

盐酸

AR(沪试),36.038.0%

11

光刻胶

S1813

25

HF

GR优级纯

12

光刻胶

S1818

26

氟化铵

CMOS

13

显影液

AZ300MIF

27

BOE

6:1(含表面活性剂)

14

去胶液

NMP

28

磷酸

AR, ≥85 wt. % in H2O