序号 | 耗材名称 Name | 成分 Composition | 所用设备 Equipment | 技术安全说明书 MSDS | 存放位置 Location | 申请联系人 Contact |
1 | 金 | Au | ![]() | 需向中心申请 | 张祁莲 | |
2 | 铂 | Pt | ![]() | |||
3 | 锗金 | GeAu | 多源炉电子束蒸发系统 | ![]() | ||
4 | 钛 | Ti | ![]() | |||
5 | 铬 | Cr | 多源炉电子束蒸发系统 | ![]() | ||
6 | 镍 | Ni | ![]() | |||
7 | 铝 | Al | 多靶材磁控溅射仪 | ![]() | ||
8 | 钯 | Pd | 多源炉电子束蒸发系统 | ![]() | ||
9 | 钽 | Ta | 多靶材磁控溅射仪 | ![]() | ||
10 | 铌 | Nb | 多靶材磁控溅射仪 | ![]() | ||
11 | 铁镓 | FeGa | 多靶材磁控溅射仪 | ![]() | ||
12 | 铜 | Cu | 多靶材磁控溅射仪 | ![]() | ||
13 | 钼 | Mo | 多靶材磁控溅射仪 | ![]() | ||
14 | 钨 | W | 多靶材磁控溅射仪 | ![]() | ||
15 | 氧化铝 | Al2O3 | 多靶材磁控溅射仪 | ![]() |