1) 一种精密显影涂布头，王镜喆，宋艳汝，彭鹏飞，徐旭光，陆卫，申请日：2023年8月4日，申请号： 2023221014598。

2) 一种低应力 NbN 超导薄膜及其制备方法和应用，杨丽慧；张晓航；宋艳汝；段然；赵志峰；李菂；余诗龄；冯毅，申请日：2023年4月3日，授权号：ZL 202310369719.1。

3) 一种发光二极管及发光装置，闫晓密，宋艳汝;方维政;彭鹏飞;徐旭光;陆卫，申请日：

2022.11.24，申请号：2022114837872。

4) 一种光子筛选型太赫兹超导纳米线探测器及其探测方法，安正华;陈冰心;宋艳汝;陆卫，申请日：2022.08.10，申请号：2022109553936。

5) 一种超导转变边探测器及其制备方法,宋艳汝;杨瑾屏;张硕;夏经铠;刘志;授权日：2023.02.28,授权号：ZL202110560045.4。

6) 一种集总元件不等功分器及设计方法，杨瑾屏;宋艳汝;刘志，授权日：2022.03.04，授权号：ZL202110041855.9。

7) 一种宽带硅基金属波导矩-圆模式变换器，杨瑾屏；李升;宋艳汝;杨士成;王彩霞;朱忠博;刘志，授权公告日：2021.12.03，授权号：ZL202110041854.4。

8) 一种单片晶圆显影装置，彭鹏飞;宋艳汝;方维政;徐旭光，授权日：2022.09.20，授权号：ZL202221005563.6。

9) 光刻板清洗装置，宋艳汝;杨瑾屏;刘志，授权日：2021.10.26，授权号：ZL202022159929.2。

10) 一种制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置, 宋艳汝;杨瑾屏;刘志, 授权日：2021.03.30, 授权号：ZL202022247713.1。

11) 一种具有最简结构的集总元件不等功分器及设计方法，杨瑾屏;宋艳汝;刘志，申请日：

2021.01.13，申请号：2021100418559。

12) 硅基太赫兹金属波导工艺可靠性测试装置及其测试方法，杨瑾屏;李升;宋艳汝;李琪;朱忠博;刘志，申请日：2021.01.13，申请号：2021100419621。

13) 一种适用于超导探测器玻璃窗的制备工艺，宋艳汝;杨瑾屏;刘志，申请日：2020.10.10，申请号：2020110769665。

14) 制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置及使用方法，宋艳汝;杨瑾屏;刘志，申请日：2020.10.10，申请号：2020110771383。

15) 一种晶圆夹具及使用方法，宋艳汝，申请日：2019.09.26，申请号：2019109160899。