设备名称

设备编号

设备

级别

服务方式

设备机时费

（元/小时）

技术代工费

（元/小时）

最小计费

单元

备注

光刻工艺服务

步进式光刻机

1-4

5级

送样加工

4200

800

1片

掩模板自备；机时费实行同一批次批量作业阶梯计费规则，该类作业为同一批次使用同一job 完成多片重复曝光（1-5片原价，6-25片超出7折，26片起超出3折）

电子束曝光机全自动EBL

1-13B

5级

送样加工

3000

800

15min

自动涂胶显影机

1-2

5级

送样加工

600

500

30min

不额外收取耗材费　

3D电子扫描显微镜半自动EBL

1-14B

4级

自主操作或送样加工

2000

800

30min

接触式光刻系统

1-1

4级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

高速高分辨率无掩膜板光刻仪MLA

1-3

4级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

投影数字光刻系统（MiScan）

1-18

4级

自主操作或送样加工

500

500

30min

低温恒温水槽

1-15B

2级

自主操作或送样加工

400

500（按次收费）

30min

匀胶通风橱(大仪名称：普通化学清洗槽)

1-17B

2级

自主操作或送样加工

400

500

30min

不额外收取耗材费

匀胶通风橱(大仪名称：有机清洗通风橱)

1-5

2级

自主操作或送样加工

400

500

30min

不额外收取耗材费

匀胶通风橱(大仪名称：湿法腐蚀台)

1-6

2级

自主操作或送样加工

400

500

30min

不额外收取耗材费

显影通风橱

1-7

1级

自主操作或送样加工

300

500

30min

不额外收取耗材费

显影通风橱(大仪名称：普通化学清洗槽)

1-8

1级

自主操作或送样加工

300

500

30min

不额外收取耗材费

显影通风橱(大仪名称：普通化学清洗槽)

1-16B

1级

自主操作或送样加工

300

500

30min

不额外收取耗材费

HMDS烘箱

1-9

2级

自主操作或送样加工

200

500

30min

真空烘箱

1-11

1级

自主操作或送样加工

200

500

30min

净化烘箱

1-12

1级

自主操作或送样加工

100

500

30min

高温烘箱

1-10

1级

自主操作或送样加工

100

500

30min

镀膜工艺服务

氮化铝集成溅射仪

3-8

5级

送样加工

3000

800

30min

MSQ腔体非常规靶材自备

低压化学气相沉积系统LPCVD

3-24B

5级

送样加工

1000

800（按次收费）

60min

单炉管收费标准，各炉管单独计费

磁控溅射沉积系统 Mo-Cu镀膜机

3-9

5级

送样加工

1000

500

30min

电子束沉积系统 非磁性金属镀膜(PVD200)

3-10

5级

送样加工

1000

500

30min

化学气相沉积系统(PECVD)

3-11

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

化学气相沉积系统(ICPCVD)

3-12

5级

送样加工

1000

500

30min

原子层积系统ALD

3-16

3级

自主操作或送样加工

1200

500

30min

多靶材溅射仪SPUTTER 介质镀膜 PVD3

3-5

5级

送样加工

1000

500

30min

多靶材溅射仪SPUTTER 磁性金属镀膜 PVD2

3-6

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

多靶材溅射仪SPUTTER 非磁性金属镀膜 PVD1

3-7

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

热蒸发（国产Al、In）

3-3

3级

自主操作或送样加工

500

500

30min

多源炉电子束蒸发系统 金属镀膜

3-4

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

有机高分子镀膜机

3-25B

3级

自主操作或送样加工

500

500

30min

晶圆电镀系统

3-26B

3级

自主操作或送样加工

500

500

30min

高深宽比金属柱制备系统

3-27

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

电子束金属蒸发系统

3-28

4级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

刻蚀工艺服务

深硅刻蚀机

3-21

5级

送样加工

1500

800

30min

载片自备，制样费一事一议

双离子源刻蚀系统 IBE

3-2

3级

自主操作或送样加工

1500

800

30min

SIMS分析机时费上浮100%

HBR刻蚀机 硅刻蚀

3-15

5级

送样加工

1500

500

30min

使用液氮期间，设备机时费上浮100%

等离子刻蚀系统 三五族刻蚀机

3-14

3级

自主操作或送样加工

1500

500

30min

使用终点监测功能，设备机时费上浮100%

高功率等离子体刻蚀机 不含铟的三五族刻蚀机

3-18

3级

自主操作或送样加工

1500

500

30min

反应离子刻蚀系统

3-13

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

ICP介质刻蚀机 硅基材料刻蚀机

3-17

5级

送样加工

1500

500

30min

使用终点监测功能，设备机时费上浮100%

反应离子刻蚀机（鲁汶ICP）

3-20

3级

自主操作或送样加工

1500

500

30min

氟化氙刻蚀仪 XEF2 ETCHER

3-19

3级

自主操作或送样加工

1200

500

30min

不额外收取耗材费　

HF干法刻蚀机

3-22

3级

自主操作或送样加工

1200

500

30min

不额外收取耗材费　

等离子去胶机Asher

3-23

3级

自主操作或送样加工

500

500

30min

湿法工艺服务

晶圆清洗刻蚀通风橱

2-09B

2级

自主操作或送样加工

400

500

30min

耗材需求量大时，联系中心工作人员据实收取　

RCA晶圆清洗通风橱

2-10B

2级

自主操作或送样加工

400

500

30min

氮化物清洗槽 磷酸

2-3

2级

自主操作或送样加工

400

500

30min

6寸有机清洗通风橱(大仪名称：1.5M酸碱通风柜)

2-1

2级

自主操作或送样加工

400

500

15min

不额外收取耗材费

小样品有机清洗通风橱(大仪名称：普通化学通风柜4)

2-2

1级

自主操作或送样加工

300

500

15min

不额外收取耗材费

HF及BOE专用通风橱(大仪名称：湿法腐蚀台通风橱3)

2-4

1级

自主操作或送样加工

300

500

15min

不额外收取耗材费

普通酸刻蚀及清洗通风橱(大仪名称：湿法腐蚀台通风橱2)

2-5

1级

自主操作或送样加工

300

500

15min

不额外收取耗材费

金属刻蚀及超声清洗通风橱(大仪名称：湿法腐蚀台)

2-6

1级

自主操作或送样加工

300

500

15min

不额外收取耗材费

甩干机 四六寸晶圆

2-7

1级

自主操作或送样加工

300

500

15min

甩干机 四八寸晶圆

2-8

1级

自主操作或送样加工

300

500

15min

晶圆甩干机 四六寸晶圆

2-11B

1级

自主操作或送样加工

300

500

15min

后道工艺服务

倒焊机

5-6

4级

自主操作或送样加工

1500

500

30min

划片机 Dicing saw

5-4B

5级

送样加工

500

800

30min

提供适合切Si、玻璃、GaAs的刀片，其余特种刀片需自备

减薄抛光系统 lapping

5-3B

4级

自主操作或送样加工

500

500

30min

样品自备

减薄抛光系统 抛光机 CMP

5-5B

2级

自主操作或送样加工

500

500

30min

抛光布、抛光液自备

贴片机

5-2

3级

自主操作或送样加工

500

500

30min

模具自备

打线机（7476D）

5-1

2级

自主操作或送样加工

500

500

30min

量测技术服务

聚焦离子束显微镜

4-16B

4级

自主操作或送样加工

2000

800

30min

SIMS质谱、TEM样品制备、三维重构与冷台等附件按使用机时收取

原子力显微镜AFM

4-3

3级

自主操作或送样加工

800

500

30min

探针自备；代工时，若使用中心的探针，需另收取探针耗材费

3D电子扫描显微镜 SEM

4-1

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

做EDX能谱期间，设备机时费上浮100%

3D电子扫描显微镜 SEM

4-15

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

做EDX能谱期间，设备机时费上浮100%

高分辨X射线衍射仪

4-17B

3级

自主操作或送样加工

1000

500

30min

低温光电测试系统

4-18

3级

自主操作或送样加工

400

500

30min

打线制样按打线机机时收取，使用平台样品载体收费耗材费

高真空离子溅射仪 SEM制样磁控溅射

4-14

2级

自主操作或送样加工

500

500

15min

不额外收取耗材费

椭偏仪 （IR-VASE Mark II M-2000UI)

4-10

2级

自主操作或送样加工

500

500

15min

椭偏仪IR

4-4

2级

自主操作或送样加工

500

500

30min

白光轮廓仪 3D Laser

4-9

2级

自主操作或送样加工

500

500

15min

光谱反射膜厚仪Filmmetrics(F50-UV)

4-7

2级

自主操作或送样加工

100

500

15min

表面轮廓仪 KLA台阶仪

4-5B

2级

自主操作或送样加工

200

500

15min

线性扫描轮廓仪

4-6

2级

自主操作或送样加工

500

500

15min

光学显微镜(大仪名称：显微镜)

4-12

2级

自主操作或送样加工

1

500

30min

显微镜 （DM4M M205C）

4-8

2级

自主操作或送样加工

1

500

30min

显微镜 （M2700M）

4-13

2级

自主操作或送样加工

1

500

30min

应力测量仪

4-11

2级

自主操作或送样加工

200

500

15min

手动探针测试系统 

4-19B

3级

自主操作或送样加工

500

500

30min

其他工艺服务

快速退火炉 RTA

6-1

3级

自主操作或送样加工

500

500

30min

临界点干燥仪

6-2

2级

自主操作或送样加工

500

500

30min

其他类型服务

综合培训费

综合培训费2100元/人次（含六台一级设备培训费600元/人次）

净化空间使用费

按50元/小时收取

个人物品存储及清理费

存储个人工具费：每天收取3元/天（白光区，约30cm*30cm*50cm）

存储个人样品费：每天收取5元/天（白光区电子干燥柜，约60cm*20cm*60cm）

化学试剂免收存放费，平台仅提供存放空间
（需严格按平台化学试剂进出入等规则）

特殊工艺技术服务费

含工艺集成设计等服务，两步功能模块及以上集成工艺，按总代工费的   20%收取集成工艺设计费；

其他情况另协商报价；

加急服务

咨询联系人：闫老师，yanxm@shanghaitech.edu.cn

*以上价格为含税价格。