立志微纳，成才卓越
发布者：管理员发布时间：2023-02-09浏览次数：104
上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP汇总
设备序列及SOP：
2接触式光刻系统MA6
3高速高分辨率无掩膜光刻仪MLA
4扫描电子显微镜SEM
5自动涂胶显影机P8000
6磁控溅射系统PVD1
7电子束蒸发镀膜设备EBEAM
8牛津等离子增强化学气相沉积&电感耦合等离子体化学气相沉积设备(PECVD，ICPCVD)
9等离子刻蚀机RIE
10鲁汶刻蚀机
11氟化氙刻蚀仪(XEF2 ETCHER)
13光谱反射膜厚仪
14台阶仪KLA
15光学显微镜使用规范
16白光轮廓仪3D Laser
17应力测量仪
18 1层 1号匀胶通风柜（有机清洗通风橱）
18 1层 2号匀胶通风柜（湿法腐蚀台）
20 1.5M酸碱通风柜（1号Liftoff 有机清洗，大样品）
21等离子去胶机
22 1层 3号 显影通风橱（显影通风橱）
22 1层 4号 显影通风橱（普通化学清洗槽）
23普通化学通风柜 4（2号 Liftoff 有机清洗，小样品）
24 1 湿法腐蚀台（普通酸刻蚀及清洗通风橱，含超声功能）
24 2 湿法腐蚀台通风橱2（普通酸刻蚀及清洗通风橱，无超声功能）
24 3 湿法腐蚀台通风橱3（HF及BOE专用通风橱）
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