立志微纳，成才卓越
1. 主要功能及特色：
1）配备有更小波长的光源（200-1100 nm）；
2）非接触、不破坏样品地分析多层薄膜厚度、折射率和消光系数；
3）能够做多点面分布扫描测试；
2. 主要规格及技术指标：
载台尺寸：最大至8寸晶圆
测量的厚度范围：20nm-40 μm的透明介质
准确性：膜厚正负0.5nm
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
