1. 主要功能及特色：
采用精密机械定位、高灵敏探针针头及手动可控操作系统，主要用于半导体芯片及微器件电性能测试，适用于研发生产中的高效精准检测。
2. 主要规格及技术指标：
卡盘：尺寸6寸，旋转角度0~360°，旋转角度微调精度0.01°。 |
针座 SS-100：X-Y-Z方向行程为12×12×12 mm。 |
70 XL 显微镜光学放大倍率范围：0.75–5.25 X，配合19 inch显示器放大倍 率可以达到216 X。 |
真空：-250 mmHg, 7 liter/min。 |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
中心地址：上海市浦东新区华夏中路393号
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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