立志微纳，成才卓越
1. 主要功能及特色：
氮化硅，氧化硅材料的刻蚀工艺
2. 主要规格及技术指标：
样品尺寸：4寸及以下
氮化硅刻蚀速率：＞40nm/min
氧化硅刻蚀速率：＞25nm/min
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
