立志微纳，成才卓越
1. 主要功能及特色：
金属、介质等多种材料的刻蚀工艺，不限交叉污染
2. 主要规格及技术指标：
样品尺寸：8寸及以下
衬底类型：III-V族、硅基、蓝宝石、SiC等非易挥发性衬底
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
