样品尺寸：10*10mm-25*25mm小尺寸样品、2寸标准晶圆、4寸标准晶圆

样品厚度：小于10mm

掩模版尺寸：2.5-7寸、4寸标准版、5寸标准版

掩模版厚度：不小于2.3mm的标准掩模版

紫外光波长：365nm(≈20mW/cm²)、405nm(≈50mW/cm²)，双波长

最小分辨率：0.8μm

正面对准精度：±0.5μm(4寸范围)

背面对准精度：±1.0μm(4寸范围)