1.负责所管理设备的日常规范管理与维护保养；

2.维护所管理仪器设备的操作手册，开展工艺研发，形成相关工艺文件；

3.开展相关委托加工服务，向客户提供微纳技术解决方案；

4.开展所管理设备的用户培训工作；

5.参与平台相关实验课程的理论与实验讲授；

6.参与平台其他综合服务工作。

1.多源炉电子束蒸发系统

2.多靶材溅射仪-非磁性金属镀膜

3.多靶材溅射仪-磁性金属镀膜

4.应力测量仪

5.有机高分子镀膜机

6.湿法腐蚀台-金属刻蚀及清洗通风橱，含超声功能

7.显影通风橱（大仪名称：普通化学清洗槽1-07）

8.显影通风橱（1-08）

9.普通酸刻蚀及清洗通风橱（大仪名称：湿法腐蚀台通风橱2）

10.HF及BOE专用通风橱（大仪名称：湿法腐蚀台通风橱3）

11.临界点干燥仪

1.用户综合培训（一级设备通风橱培训）

2.参与《量子材料与微纳器件制造技术课程》

3.多源炉电子束蒸发设备工艺培训

4.多靶材溅射仪非磁性金属镀膜设备工艺培训

5.多靶材溅射仪磁性金属镀膜设备工艺培训