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1. 主要功能及特色：
晶圆甩干机，是一种常见的半导体清洗后干燥的方法。
2. 主要规格及技术指标：
样品尺寸：4寸和8寸晶圆 |
工作转速：0-2800转/min |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
中心地址：上海市浦东新区海科路99号1号楼
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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