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1-13B
电子束曝光机 全自动EBL
设备编号:1-13B
设备管理员A:翁思远
设备管理员B:张妍亭
电话:021-20685721
电话:021-20685693


1. 主要功能及特色:

电子束光刻机是利用纳米电子束斑在光刻胶上扫描,改变光刻胶的显影特性,可获得纳米级分辨率的图形结构。微纳器件加工中曝光纳米级结构图型,可用于各种纳米结构及器件、光刻掩膜版以及纳米压印模板等的加工。

2. 主要规格及技术指标:

最大加速电压:125 kV

扫描频率:100 MHz

最小束斑直径:4 nm @1nA,≤8 nm @10nA

最小线宽:8 nm100 um X100 um),20nm500 um X500 um

束流大小:50pA100pA300pA500pA700pA1nA3nA5nA10nA

OL Aperture直径120μm

场拼接精度:≤ 10 nm100 um X100 um),≤ 25 nm500 um X500 um

对准精度:≤ 15 nm100 um X100 um),≤ 30 nm500 um X500 um

最大写场范围:3000 um X 3000 um(高速模式) 500 um X 500 um(高精度模式)

样品台步进精度:0.3 nm

最大曝光面积:210 mm 210 mm

SEM 最大放大倍率:500000

样品尺寸:8寸以下基片及不规则小片

衬底类型:硅基、碳化硅、Ⅲ-Ⅴ族半导体、石英玻璃/蓝宝石透明晶圆

3.服务内容:

仅提供委托加工服务



设备状态良好,可供使用










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