《上海科技大学量子器件中心工艺设备使用暂行规则》（最新版）

关于印发《上海科技大学量子器件中心工艺设备使用暂行规则》的通知

为防止不同材料体系间在中心工艺设备内的交叉污染，根据2021年6月30日中心工艺设备交叉污染专家评审会意见，中心研究修订了《上海科技大学量子器件中心工艺设备使用暂行规则》。该制度已经审批通过，现正式发布执行。

附件下载：

《上海科技大学量子器件中心工艺设备使用暂行规则》

《上海科技大学量子器件中心（SQDL）流片新项目评审申请表》 （需右键“链接另存为”下载填写，纸质签字版和电子版同时提交）

上海科技大学量子器件中心

2021年7月5日