立志微纳，成才卓越
1. 主要功能及特色：
适用于4、6英寸晶圆清洗及刻蚀
2. 主要规格及技术指标：
清洗基片尺寸：4寸、6寸
可用试剂：硫酸、双氧水，BOE, 磷酸
清洗能力：每次25片晶圆
3.服务内容：
仅提供委托加工服务
