
一、设备介绍
1. 主要功能及特色:
倒焊机主要用于集成电路器件倒装焊接封装,可通过控制键合压力、对位精度、键合温度等手段封装器件实现高通量焊接,完成芯片与基板的高精度倒装互连,使封装具有更优越的高频、低延迟、低串扰的电路特性,能有效提高电路、部件或系统的组装互连的可靠性。
2. 主要规格及技术指标:
最大芯片尺寸:50*50mm,支持四种芯片规格 |
衬底厚度:0.5-2mm |
上下片系统:自动 |
键合后精度:≤士0.5μm |
键合压力及控压精度:0-4000N,≤士1% |
键合温度及控温精度:室温-450℃,≤士1℃ |
对位系统:光谱共焦+准直仪找平,上下双对准、垂向测量系统 |
平台行程:X向≥120mm;Y向≥200mm |
3.服务内容:
提供用户自主操作、委托加工服务
二、设备状态
设备状态良好,可供使用
四、设备SOP
五、工艺展示