《造芯大讲堂》2025年第十四讲
各位老师、同学、用户:
上海科技大学材料器件中心《造芯大讲堂》系列课程2025年第十四讲将于10月29日上午开课,主题为《电子束光刻技术》。诚邀感兴趣的师生和用户参加!
一、培训时间、地点
时间:10月29日(周三)上午10:30~12:30
地点:具体地点邮件通知
二、培训师资
徐龙
某集成电路名企
资深电子光刻专家
三、培训形式
小班授课(限30人)
四、招生范围
1. 对电子束光刻原理与技术感兴趣的师生及用户
2. 未来有志于从事集成电路先进制造工作的学生及用户
五、培训内容
1. 电子束直写系统、原理与技术
2. 光学与电子束混合光刻技术
3. 电子束曝光邻近效应及校正技术
六、报名方式
扫码报名2025年第十四讲
注:报名后请订阅,以便接收后续通知。
报名截止时间:10月27日13:00
培训工作联系人:庄老师,021-20685719
报名成功者将收到邮件确认通知。
课程海报

《造芯大讲堂》
材料器件中心面向校内师生和广大用户开设《造芯大讲堂》校企联合系列课程,将为参训学员带来一系集成电路先进制造相关的微纳加工设备、工艺以及厂务等方面的原理、应用及实操知识和实战训练,旨在提升学员在集成电路先进制造领域全方位的综合技术能力,助其成为未来的卓越工程师。