尊敬的用户：
SQDL平台步进式光刻机自2022年11月起试运行以来，为广大用户提供了优质的技术解决方案，满足用户各类图形转移需求。为进一步优化服务并兼顾设备运维成本，经研究，决定向用户提供全流程的掩膜版定制服务，并恢复匀胶显影、Job编写、曝光等步骤的代工收费，具体执行方案如下：
| 代工步骤 | 收费内容 | 收费标准 |
匀胶/显影 | 设备机时费+ 代工费 |
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定制掩模板 （可选服务项） | 耗材费+ 代工费 | 1. 仅委托版图设计：代工费2000元/张 2. 仅委托制板：掩模板耗材费+代工费（按16%） 3. 委托版图设计及制板：掩模板耗材费+代工费（按36%） 备注： （1）如需委托版图设计，用户需提供原始曝光图形；（2）制作光刻版所需的基板要求：6英寸，0.25inch厚，Ultra low thermal-expansion quartz 超低热膨胀石英。 |
Job编写 （可选服务项） | 代工费 | 1. 定义mark：1000元（若无套刻需求，不收取此项费用） 2. 定义image：首个image收取500元，后续每增加一个image增加200元 |
曝光 | 设备机时费+ 代工费 |
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以上方案自2023年11月起执行。
特此通知。
上海科技大学量子器件中心（SQDL平台）
2023年11月10日
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