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2-11B
预约送样
晶圆甩干机
设备编号：2-11B
设备管理员A：王镜喆
设备管理员B：
邮箱：wangjzh1@shanghaitech.edu.cn
邮箱：
电话：021-20684633
电话：

1. 主要功能及特色：

适用于4、6英寸晶圆甩干

2. 主要规格及技术指标：

甩干基片尺寸：4寸、6寸

使用气体：N2

甩干能力：每次25片晶圆

3.服务内容：

仅提供委托加工服务


设备状态良好，可供使用

委托加工

暂无


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