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设备展示

功能说明：

1. 本页面主要供用户查阅仪器设备信息，可点击具体模块进行搜索，或直接查找设备关键字。

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3-03
预约送样
热蒸发
设备编号：3-03
设备管理员A：张祁莲
设备管理员B：
邮箱：zhangql@shanghaitech.edu.cn
邮箱：
电话：021-20685791
电话：

1. 主要功能及特色：

金属热蒸发沉积工艺


2. 主要规格及技术指标：

样品尺寸：6寸以下
可沉积金属：Al，Ti，In
沉积温度：室温
蒸发舟：2个


3.服务内容：

提供用户自主操作、委托加工服务


设备状态良好，可供使用（请与设备管理老师联系）


1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训

2.培训方式：请到SMDL日历中查阅与报名


请联系设备管理员

工艺时间

工艺展示

内容和指标说明

2021.4.20


Al：200nm的Liftoff


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