1. 本页面主要供用户查阅仪器设备信息，可点击具体模块进行搜索，或直接查找设备关键字。
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1. 主要功能及特色：
测量量子器件的表面形貌、重复性、分辨率高，处理速度快
2. 主要规格及技术指标：
台阶高度重复性：0.5 nm |
扫描长度范围：55 mm |
垂直方向分辨率：最高分辨率可达1 Å（在6.55 μm测量范围内） |
垂直方向扫描范围：1mm （0.039英寸） |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训
2.培训方式：请到SMDL日历中查阅与报名
暂无
中心地址：上海市浦东新区海科路99号1号楼
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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