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1. 主要功能及特色：
1）配备有更小波长的光源（200-1100 nm）；
2）非接触、不破坏样品地分析多层薄膜厚度、折射率和消光系数；
3）能够做多点面分布扫描测试；
2. 主要规格及技术指标：
载台尺寸：最大至8寸晶圆 |
测量的厚度范围：20nm-40 μm的透明介质 |
准确性：膜厚正负0.5nm |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训
2.培训方式：请到SMDL日历中查阅与报名
暂无
中心地址：上海市浦东新区华夏中路393号
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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