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1. 主要功能及特色：
可测量透明体的膜表面，观察膜的内部或背面，测量薄膜厚度、形状。 |
可同时进行观察焦点深度较大的观察图像（全焦点图像）和三维形状测量，兼具放大观察设备与测量设备的混合型产品。 |
| 可观察高精细彩色 CMOS 图像 、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C- 激光微分干涉图像 |
2. 主要规格及技术指标：
激光光源波长：紫激光 404 nm |
激光共焦准确性：10倍,1.0+L/100 μm或更小; 20倍～150倍,0.2+L/100 μm或更小,（L=测量长度 μm） |
激光输出功率：1.0 mW |
高度显示分辨率：0.5 nm |
宽度显示分辨率：1 nm |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训
2.培训方式：请到SMDL日历中查阅与报名
暂无
中心地址：上海市浦东新区华夏中路393号
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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