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3-20
预约送样
反应离子刻蚀机（鲁汶ICP）
设备编号：3-20
设备管理员A：吴廷琪
设备管理员B：
邮箱：wutq@shanghaitech.edu.cn
邮箱：
电话：021-20684742
电话：

1. 主要功能及特色：

金属、介质等多种材料的刻蚀工艺，不限交叉污染

2. 主要规格及技术指标：

样品尺寸：8寸及以下

衬底类型：III-V族、硅基、蓝宝石、SiC等非易挥发性衬底

3.服务内容：

提供用户自主操作、委托加工服务


设备状态良好，可供使用


1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训

2.培训方式：请到SMDL日历中查阅与报名


SQDL平台反应离子刻蚀机（鲁汶ICP）操作规程（SOP）.PDF


工艺时间

工艺展示

内容和指标说明

2022.9.29


Cr掩模的硅柱刻蚀


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