立志微纳，成才卓越

设备展示

功能说明：

1. 本页面主要供用户查阅仪器设备信息，可点击具体模块进行搜索，或直接查找设备关键字。

2. 如需了解详细设备内容，请点击设备卡片More

3.如要查询某设备具体在超净实验室的位置，请点击“设备导航”菜单，通过设备编号查询。

1-11
预约送样
真空烘箱
设备编号：1-11
设备管理员A：张雁冰
设备管理员B：
邮箱：zhangyb2@shanghaitech.edu.cn
邮箱：
电话：02120684626
电话：



工作温度: 40- 200度；

工作压力范围：760 - 1Torr ；

大观察窗；

PID多模式控温；

N2气vent，破真空取样品；

适合于多片8寸晶圆，及以下小片。


设备状态良好，可供使用

培训内容

1、主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训；

2、培训方式：需培训者，请联系设备管理老师


SQDL平台真空烘箱标准操作流程及使用规范SOP.pdf

暂无


设备介绍
设备状态
培训
设备SOP
工艺展示