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1. 主要功能及特色：
1.高分辨率--在样品上每个原子实现力扫描
2.采用双向扫描选项即刻实现成像速度翻倍
3.完整的纳米尺度定量信息
4.获取整体力学数据，从而全面表征接触力学机制
2. 主要规格及技术指标：
X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um |
Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um |
垂直方向噪音基底：<30pmRMS |
X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
工艺 时间 | 工艺展示 | 内容和指标 说明 |
2023. 09.25 |
| 测量 双层金电极厚度 薄膜A： 71.434nm 薄膜B： 43.500nm |
中心地址：上海市浦东新区海科路99号1号楼
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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