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1-14B
预约送样
3D电子扫描显微镜 半自动EBL
设备编号：1-14B
设备管理员A：马驰原
设备管理员B：杨津津
邮箱：machy@shanghaitech.edu.cn
邮箱：yangjj1@shanghaitech.edu.cn
电话：021-20684635
电话：021-20685721

1. 主要功能及特色：

在SEM基础上配置Raith图形发生器控制系统，除自身扫描电镜成像功能外，亦可实现EBL光刻的功能。

2. 主要规格及技术指标：

配置Raith图形发生器系统一套

加速电压：0.02-30 KV

样品尺寸：最大20mm*20mm，形状规则

放大倍率：12-2,000,000 倍

写场：25μm~1000μm

探针电流：最大电流不小于 20 nA

最小线宽&套刻精度：100nm

3.服务内容：

提供用户自主操作、委托加工服务


设备状态良好，可供使用


1.主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训

2.培训方式：请到SMDL日历中查阅与报名


SQDL平台3D电子扫描显微镜 半自动EBL标准操作流程及使用规范（SOP）.pdf


工艺时间

工艺展示

内容和指标说明

2022.9.19


光刻胶PMMA A2曝光线条


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