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1. 主要功能及特色：
该设备通过配置不同的切割刀，能够对硅片、砷化镓、玻璃或加工材料进行切割加工
2. 主要规格及技术指标：
最大加工尺寸为Ø8英寸及其以下不规则样品。
加工物厚度（mm)0.1~1.5（需要配置不同的刀片）。
X 轴 进刀速度有效范围（mm/s） 0.1-600
Y 轴 最小步进量（mm） 0.0001，定位精度（mm） 0.003 以内/260
Z 轴 重复定位精度（mm） 0.001
3.服务内容：
仅提供委托加工服务
设备状态良好，可供使用
中心地址：上海市浦东新区海科路99号1号楼
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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