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功能说明：

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1-12
预约送样
净化烘箱
设备编号：1-12
设备管理员A：张雁冰
设备管理员B：
邮箱：zhangyb2@shanghaitech.edu.cn
邮箱：
电话：02120684626
电话：

惰性气体机械对流烘箱

1.主要规格及技术指标：

温度使用范围：室温 - 320度；

用N2置换空气，达到低O2环境烘烤；

可编程升温控温模式；

水冷快速降温至50度以下（1小时）；

适合用于多片8寸晶圆，及以下小片。

设备状态良好

1. 主要针对仪器操作步骤、注意事项等进行培训

2. 培训方式：请直接联系设备管理工程师，按需现场一次培训

SQDL平台净化烘箱标准操作流程及使用规范SOP.pdf

暂无

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