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1. 主要功能及特色：
1层2号匀胶通风橱。
本设备主要用于匀胶工艺，包括手动匀胶台和热板。
通风橱内有SUSS品牌的匀胶机和热板各一台、LEBO品牌的热板一台，主要用于4寸以下的匀胶和8寸以下的烘烤。
2. 主要规格及技术指标：
匀胶样品尺寸：10*10mm-25*25mm小样品、2寸和4寸标准晶圆 |
烘烤样品尺寸：8寸以下样品 |
匀胶最大转速：6000rpm |
热板最高温度：200℃ |
3.服务内容：
提供用户自主操作、委托加工服务
设备状态良好，可供使用
中心地址：上海市浦东新区海科路99号1号楼
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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