1.光谱反射膜厚仪Filmmetrics (F50-UV)
2.表面轮廓仪KLA台阶仪 (D-300)
3.线性扫描轮廓仪(DEKTAK XT)
4.扫描电子显微镜(Sigma300)
5.原子力显微镜(Dimension Icon)
6.3D电子扫描显微镜(Gemini300)
7.白光轮廓仪(VK-X1100)
8.高真空离子溅射仪(ISC150 PRO)
9.椭偏仪(M-2000UI)
10.光学显微镜(DM4M)
11.显微镜(M2700M)
中心地址：上海市浦东新区华夏中路393号
联系方式：SMDL@shanghaitech.edu.cn
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