张祁莲

1.多源炉电子束蒸发系统

2.多靶材溅射仪-非磁性金属镀膜

3.多靶材溅射仪-磁性金属镀膜

4.应力测量仪

5.有机高分子镀膜机

6.湿法腐蚀台-金属刻蚀及清洗通风橱，含超声功能

7.显影通风橱（大仪名称：普通化学清洗槽1-07）

8.显影通风橱（1-08）

9.普通酸刻蚀及清洗通风橱（大仪名称：湿法腐蚀台通风橱2）

10.HF及BOE专用通风橱（大仪名称：湿法腐蚀台通风橱3）

11.临界点干燥仪