上海科技大学量子器件中心电子束曝光机(EBL-F125G8)用户手册（第一版）

发布者：管理员发布时间：2023-04-28浏览次数：78

尊敬的校内外用户：

为更好地支撑和服务广大校内外用户科学研究工作，帮助大家更好地利用电子束曝光机（EBL-F125G8）开展工作，中心特编制了《上海科技大学量子器件中心电子束曝光机（EBL-F125G8）用户手册（第一版）》，内容包括技术指标、相关光刻胶标准工艺、数据结构、写场位置、曝光时间以及预约使用规则等。