2023年春学期《量子材料与微纳器件制造技术I》课程顺利完结

2023年春学期《量子材料与微纳器件制造技术I》课程顺利完结

近日，由量子器件中心牵头开设的2023年春学期《量子材料与微纳器件制造技术I》课程圆满结课。该课程依托物质学院“双一流”学科建设，是由量子器件中心（下称中心）开设的以实验实践为主、理论教学为辅的本研一体特色课程，旨在向课程学生全面介绍目前科研领域主流先进微纳加工技术和分析测试方法进行，并进行培训与设备使用授权，同时开展相关结构器件制备。

      课程的结课汇报以不同器件制备的实验小组为单位，每个小组6人，每个小组组长带领组员，从实验背景、实验设计、实验过程以及实验结果等方面，分别汇报了超导转变边探测器TES、基于氮化铝的谐振器、压电微机械超声换能器PMUT、基于氮化铝的声学器件等器件制备的实验总结报告。

值得一提的是，学生们根据课程中所学的知识，利用期末的业余时间，制作了富有特色的设备操作视频手册，涵盖了课程中所用到的物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、紫外光刻、ICP刻蚀等主要设备及工艺，并在结课汇报中展示，视频内容详尽、制作良好，体现了学生认真严谨的态度和丰富的创造力。

经过一学期的课程学习、实验实操，学生从认识微纳加工、了解设备原理到自己动手制备出特色的微纳器件，不仅获取了丰富的理论知识，也锻炼了实验实操的能力。课程结束后，同学们及其课题组导师积极反馈：“课程对今后的科研很有帮助，收获很多，希望下学期再开设。”