【6月9日-6月12日】关于量子器件中心部分设备暂停开放的公告

尊敬的各位用户：

接上海市电力公司浦东供电分局通知，6月11日（本周日）凌晨1-3点电力公司将对中心所在区域电网进行计划检修试验，并于当日12-24点停水。为提前做好各项保障工作，中心做出以下安排：

设备名称	停止服务时间
步进式光刻机 （stepper）、电子束曝光机（EBL）	6月9日17：00-6月12日8：00
高速高分辨率无掩膜板光刻仪（MLA）、扫描电子显微镜（SEM，三台）	6月10日22：00-6月12日8：00
其他所有设备（含镀膜机、刻蚀机、量测设备、通风橱）	6月9日13：00-6月12日8：00

请各位用户提前安排实验时间，给您造成的不便敬请谅解。

量子器件中心

2023年6月8日