化学气相沉积系统

设备：化学气相沉积系统（PECVD)

类型：培训

时间：5月7日  09:30-10:30

地点：材料器件中心净化间1层白光区。

报名教师：吴廷琪

报名邮箱：wutq@shanghaitech.edu.cn

咨询电话：021-20684742

报名须知：

1. 每次培训至多5人，请提前2天邮件报名。

2. 仅限工艺和交叉污染审核通过，并且达到观摩次数校内师生